전남대학교MNTL연구소

Total 44

번호	장비명(목적)	담당자	위치
4	Hot plate with vacuum chuck (sawatec, HP-150) Hot plate with vacuum chuck	박종성	계측실
3	Spin coater, PR coating (Midas, 1200) Spin coater	박종성	드레스룸
2	Spin coater, PR coating (Midas, 3000) Spin coater	박종성	YR
1	Mask aligner Double side mask aligner	박종성	YR

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