작성일 : 12-12-28 11:57
 Clean booth.bmp [0] DATE : 2012-12-28 11:57:48 | ||||||||||||||||
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 A list of additional components |
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Detailed specification HEPA filter를 통해 노광 공정 시 외부의 먼지로부터 높은 청정도를 유지하여 마이크로 나노 소자의 제작
-Size : 3100W X 1800D X 2000H
-청정도 : 100 class |
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