작성일 : 12-12-28 15:16
 clean booth 2.bmp [0] DATE : 2012-12-28 15:16:18 | ||||||||||||||||
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 A list of additional components |
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Detailed specification HEPA filter를 통해 노광 공정 시 외부의 먼지로부터 높은 청정도를 유지하여 마이크로 나노 소자의 제작
-Class : 100UNDER
-외형 Size : 2800W X 2600H X 3200L
-Folding door : 1200W X 2000H X 1SET, 3000W X 2000H X 1SET
-FFU : 17CMM X 6SET
-HEPA Filter : 572X1172X120T X6EA
-HEPA Filter : 572X1172X150T X 3EA
-HEPA Filter : 475X475X10X3EA
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Clean booth 2![clean booth 2.bmp [0] DATE : 2012-12-28 15:16:18](javascript:file_download('./download.php?bo_table=Fabrication&wr_id=102&no=0&sca=Fabrication&page=3', 'clean booth 2.bmp');){kind=link}
