전남대학교MNTL연구소
 
작성일 : 12-12-28 11:39
   Ultrasonic(4science,JAC 2010).bmp  [0] DATE : 2012-12-28 11:39:03
분류 : Fabrication
 Ultrasonic(4science,JAC 2010)
 
Place YR
Dealer 포싸이언스
Date 2007.03
Project Name
Purpose US for mask and wafer cleaning
Responsible Person 박종성


A list of additional components
Detailed specification
- 마스크 및 4인치 실리콘 웨이퍼 세척
- 최신 반도체 소자(마이콤)을 탑재하여 타이머, 온도조절, 출력 기능
- 현재온도, 잔여 시간 표시
- BLT진동자를 사용하여 신뢰성이 높고 고출력으로 연속 사용 가능
- 실리콘 고무 히터를 채용하여 효율이 높고 수명이 반영구적으로 사용 가능
- 난연ABS 프라스틱으로 사출 제작되어 견고하고 외관이 미려
 
-Bath volume : 10L
-Tank size (WxDxH) : 295×240×160mm
-Overall size (WxDxH) : 490×368×297
-Temperature range : 0 to 50℃
-Timer : 99min 
-Body material : ABS
-Transducer : BLT type
-Frequency : 40 KHz
-Electric requirement : AC 220V, 60Hz
-Power consumption : 20W (300W)