MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS(MEMS) MEMS는 미세전자기계시스템(Micro Electro-Mechanical Systems)'의 약자로, 작게는 마이크로미터(㎛)에서 크게는 밀리미터(mm)급 크기를 가지는 전자기계 소자 및 이들의 제작기술을 의미한다. 크기가 매우 작기 때문에 일반적인 사이즈의 기계들과는 매우 다른 물리적 특성을 보이며, 질량이나 관성 등의 중요성은 줄어드는 대신 표면장력이나 마찰력 등이 구조체의 설계에서 중요한 변수가 된다. 작은 기계를 제작하기 위해서는 반도체 공정기술을 활용하여야 하며, 기존의 실리콘 기반의 반도체 회로를 만드는 것과 유사한 과정을 거쳐 MEMS 구조물을 제작하므로 미세전자소자와 함께 집적화하는 것이 가능하다. MEMS의 가장 대표적인 응용분야로는 잉크젯프린터를 꼽을 수 있으며, 속도나 동작을 인식하는 각종 센서에도 MEMS 기술이 적용된다. 자동차 에어백의 가속도 센서는 사고 직후 일어나는 가속도 변화를 인식해 에어백을 작동시키며, 애플 아이폰에는 기울기에 따라 디스플레이 화면을 가로/세로로 자동 변환시키는 센서가 채택되어 있다. 이 밖에도 프로젝터 디스플레이의 핵심부품인 디지털 마이크로 거울 칩, 의료용 칩 등에서도 MEMS는 중요한 역할을 하고 있다. 최근에는 MEMS 기술을 이용해 곤충모양의 로봇을 만드는 연구작업이 한창 진행되고 있으며 언젠가 실제 곤충과 같은 크기를 가지면서 정보수집과 첩보작업을 수행하는 로봇이 실용화되면, 사무실에 날아드는 파리 한 마리에도 신경을 곤두세워야 하는 일이 벌어질지도 모르겠다.