전남대학교MNTL연구소

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작성일 : 17-03-19 17:42
Introduction to MEMS 02
 글쓴이 : 이동원
조회 : 958  
   MEMS_U_02.pdf  DATE : 2017-03-19 17:42:28
Micromachined sensors and actuators
- 마이크로머시닝 기술?
- 센서관련 기술: 에너지 변환 (자연계의 에너지를 전기신호로...) 감도, 선택도, 그리고 신뢰성 문제 해결을...
- 구동기관련 기술: 센서의 동작을 위해서... 작은 구동기가 필요한 곳은 어디... 지속적인 동작에 따른 에너지 문제...

앞으로 해결해야 할 것은 맡이 남아 있는 듯...